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廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵

分子泵也廣泛應用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域，由于半導體行業(yè)發(fā)展迅速，真空泵的市場(chǎng)拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷倫)，德國普發(fā)，歐瑞康萊寶， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是國產(chǎn)儀器廠(chǎng)商，如北京北儀創(chuàng )新真空技術(shù)有限責任公司，成都南光機器有限公司，中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器等企業(yè)。但是，無(wú)論是在技術(shù)還是在市場(chǎng)發(fā)展上，國外的儀器產(chǎn)品都遠遠超過(guò)國內儀器產(chǎn)品。

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進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝

　?、?、泵入口：對正、對稱(chēng)擰緊

　?、?、泵出口：防止錯位

　?、?、冷卻水：無(wú)漏水；入口水壓0.2MPa；水溫20±５℃；水質(zhì)澄清無(wú)沉淀

注意：

環(huán)境溫度：風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口壓強：強制風(fēng)冷<0.1Pa;自然風(fēng)冷<0.01Pa

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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氣載、熱氣體、突變氣載

　　a 引起問(wèn)題：溫度升高；動(dòng)靜片變形；轉子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效

　　b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時(shí)間7磁場(chǎng)屏蔽出現的問(wèn)題

　　旋轉的轉子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流，將使轉子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問(wèn)題：

　?、?、轉子與定子間隙越來(lái)越小，造成碎片；

　?、?、轉子溫升過(guò)大造成磁性電機轉子退磁；

　?、?、由于發(fā)熱會(huì )減弱鋁材料的強度，造成碎泵；

　?、?、轉子發(fā)熱，改變轉子和軸的相對位置，造成碎泵。

　　分子泵在磁場(chǎng)中運轉時(shí)，徑向和軸向磁場(chǎng)強度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。

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為什么要選擇渦旋式無(wú)油干泵IDP-3？極低維護成本IDP-3的采購價(jià)格及維護包價(jià)格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶(hù)體驗使用精密的測聲計，并通過(guò)ISO標準進(jìn)行測試：在操作人員位置的測試結果表明，IDP-3的噪聲會(huì )小于油封式真空泵2dB

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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱(chēng)，是一種非常常見(jiàn)的獲得高真空和超高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動(dòng)的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時(shí)的保養，對分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。

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許多設備在工作時(shí)都會(huì )產(chǎn)生磁場(chǎng)，比如，家用電冰箱的磁場(chǎng)強度約有10高斯（1mT），MRI 的磁場(chǎng)強度甚至會(huì )高達 3T；盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會(huì )有外漏的雜散磁場(chǎng)，對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。

MACHINA中應用的真空產(chǎn)品

MACHINA 工作時(shí)需要穩定的真空環(huán)境，以避免高速粒子束和殘留氣體分子之間的任何相互作用，該項目設計團隊選擇了安捷倫的渦輪分子泵作為主泵。安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊，可以任意角度安裝，而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術(shù)可以補償輕微的系統振動(dòng)；對于一個(gè)緊湊便攜的系統而言，這些特點(diǎn)至關(guān)重要。